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Communication dans un congrès

Ellipsometric modelling as a solution to the optimization of thin films devices fabrication process

Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-angers.fr/hal-02444500
Contributeur : Mihaela Girtan <>
Soumis le : vendredi 17 janvier 2020 - 21:56:18
Dernière modification le : samedi 18 janvier 2020 - 01:26:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-02444500, version 1

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Citation

M. Girtan. Ellipsometric modelling as a solution to the optimization of thin films devices fabrication process. ModTech, Jun 2019, Iasi, Romania. ⟨hal-02444500⟩

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