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Communication dans un congrès

Ellipsometric modelling as a solution to the optimization of thin films devices fabrication process

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-angers.fr/hal-02444500
Contributeur : Mihaela Girtan Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 17 janvier 2020 - 21:56:18
Dernière modification le : lundi 14 novembre 2022 - 02:50:07

Identifiants

  • HAL Id : hal-02444500, version 1

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Citation

Mihaela Girtan. Ellipsometric modelling as a solution to the optimization of thin films devices fabrication process. ModTech, Jun 2019, Iasi, Romania. ⟨hal-02444500⟩

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