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Structural and optical characterization of carbon nitride layers deposited by plasma assisted chemical vapor deposition at various conditions

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https://hal.univ-angers.fr/hal-02886162
Contributeur : Regis Barille <>
Soumis le : mercredi 1 juillet 2020 - 12:18:17
Dernière modification le : mardi 25 août 2020 - 11:58:02

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Citation

Katarzyna Tkacz-Śmiech, Katarzyna Koper, Andrzej Mikuła, Bouchta Sahraoui, Janusz Jaglarz. Structural and optical characterization of carbon nitride layers deposited by plasma assisted chemical vapor deposition at various conditions. Thin Solid Films, Elsevier, 2018, 646, pp.28-35. ⟨10.1016/j.tsf.2017.11.016⟩. ⟨hal-02886162⟩

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