Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2018
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https://univ-angers.hal.science/hal-02886162
Soumis le : mercredi 1 juillet 2020-12:18:17
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14
Citer
Katarzyna Tkacz-Śmiech, Katarzyna Koper, Andrzej Mikuła, Bouchta Sahraoui, Janusz Jaglarz. Structural and optical characterization of carbon nitride layers deposited by plasma assisted chemical vapor deposition at various conditions. Thin Solid Films, 2018, 646, pp.28-35. ⟨10.1016/j.tsf.2017.11.016⟩. ⟨hal-02886162⟩
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